특허DB 목록으로 보유학교 위덕대학교 출원번호 1020100025026 명칭 다양한 각도에서 챔버 회전이 가능한 스퍼터의 개발 권리 출원일 2010-03-22 등록번호 등록일자 0000-00-00 관리부서 - 발명자 이유기,김용희 대리인 공동출원 주식회사 베스
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